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白光干涉仪

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产品名称: 白光干涉仪
产品型号: AE-100M
产品厂商: rational(台湾万濠)
产品文档: 无相关文档
简单介绍
    

产品用途: 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含:玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。 产品特点: ● 纳米深度3D检测 ● 高速、无接触量 ● 表面形状、粗糙度分析 ● 非透明、透明材质皆适用 ● 非电子束、非雷射的安全量测 ● 低维护成本

白光干涉仪 的详细介绍

专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo):
● 提供多功能又具友好界面的3D图形处理与分析
提供自动表面平整化处理功能
提供高阶标准片的软件自校功能
深度、高度分析功能提供线性分析与区域分析等两种方式
线性分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度
waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer
区域分析方式提供图形分析与统计分析
具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能
量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出

高速精密的干涉解析软件(ImgScan)
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
垂直高度可达0.1nm
高速的分析算法则,让你不在苦候测量结果
垂直扫描范围的设定轻松又容易
10X20X50X倍率的物镜可供选择
平台XYZ位置数字式显示,使检测目标寻找快速又便利
具有手动/自动光强度调整功能以取得**的干涉条纹对比
具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌
具有自动补点功能
可自行设定扫描方向


 

技术规格参数:

型号

AE-100M

移动台(mm)

平台尺寸100*100 ,行程13*13

物镜放大倍率

10X

20X

50X

观察与量测范围(mm)

0.43*0.32

0.21*0.16

0.088*0.066

光学分辨力(μm)

0.92

0.69

0.5

收光角度(Degrees)

17

23

33

工作距离

7.4

4.7

3.4

传感器分辨率

640*480像素

机台重量(kg)/载重kg

20kg/小于1kg

Z轴移动范围

45mm , 手动细调

Z轴位置数字显示器

分辨力1μm

倾斜调整平台

双轴/手动调整

高度测量

测量范围

100(μm)(400μm ,选配)

量测分辨力

0.1mm

重复精度

≤ 0.1 (量测高度:>10μm)

≤10nm(量测高度1μm 10μm)

≤ 5nm(量测高度:<1μm )

量测控制

自动

扫描速度(μm/s)

12(较高)

光源

光源类型

仪器用卤素(冷)光源

平均使用寿命

1000小时100W 500小时(150W

光强度调整

自动/手动

数据处理与显示用计算机

中央处理运算屏幕

双核心以上CUP

影像与数据显示屏幕

17 " 双晶屏幕

操作系统

Windows XP(2)

电源与环境要求

AC100 --240 V 50-60Hz

环境振动

VC-C等级以上

测量分析软件

量测软件ImgScan

ImgScan测量软件:具VSI/ PVSI/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配)

分析软件PosTopo

ISO 粗燥度/阶高分析,快速传利叶转换和滤波,多样的2D3D
观测视角图,外形/面积/体积分析,图像缩放、标准影像文件格式转换
报表输出,程序教导测量等。


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